填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白的解理制造自動(dòng)化裝備、情感模擬機(jī)器人、人形機(jī)器人……徜徉在工博會(huì)上海理工大學(xué)展區(qū)，縱使不懂原理、不懂技術(shù)，都想停下腳步，了解這些“黑科技”背后的故事，暢想科技創(chuàng)新助力產(chǎn)業(yè)升級(jí)的美好圖景。
在展區(qū)里，一臺(tái)方方正正的機(jī)器映入眼簾，看著不起眼的它可不簡(jiǎn)單，它是國(guó)產(chǎn)首臺(tái)高端商用半導(dǎo)體激光器芯片巴條超精密解理制造成套設(shè)備，包括了半導(dǎo)體材料劃片機(jī)、裂片機(jī)及配套制造控制軟件等，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
用激光雷達(dá)實(shí)現(xiàn)城市內(nèi)智能駕駛、以激光通訊與空間站進(jìn)行星地通話、通過(guò)激光遙感“看”到更深的蔚藍(lán)水中世界……在這些充滿未來(lái)感的應(yīng)用中，核心器件就是半導(dǎo)體激光器?！叭欢壳鞍雽?dǎo)體激光器芯片巴條超精密解理制造整套自動(dòng)化裝備在國(guó)內(nèi)還處于技術(shù)起步階段，主要依賴日本、美國(guó)等公司進(jìn)口生產(chǎn)設(shè)備，于是我們就想，能不能讓設(shè)備‘中國(guó)造’呢？”上海理工大學(xué)超精密制造技術(shù)研究團(tuán)隊(duì)教授姜晨介紹，對(duì)半導(dǎo)體晶圓的解理加工，就是把極薄的晶圓的邊緣表面加工成一個(gè)平面，對(duì)平面的粗糙度和精度的要求特別高，由于這個(gè)平面形狀極為細(xì)長(zhǎng)，傳統(tǒng)磨削拋光的方式無(wú)法達(dá)到要求，團(tuán)隊(duì)聯(lián)合上海微高精密機(jī)械工程有限公司經(jīng)過(guò)五年多的技術(shù)攻關(guān)，攻克GaAs、InP、GaN等半導(dǎo)體材料解理加工成套裝備、全套解理工藝和解理加工自動(dòng)化輔助等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，填補(bǔ)了多項(xiàng)國(guó)產(chǎn)技術(shù)空白。
怎樣讓科研成果走出實(shí)驗(yàn)室、落在企業(yè)的流水線上？對(duì)像姜晨一樣的高校老師而言，工博會(huì)就是一個(gè)很好的契機(jī)。“我們已申請(qǐng)發(fā)明專利6項(xiàng)，授權(quán)5項(xiàng)發(fā)明專利，1項(xiàng)軟件著作權(quán)，發(fā)表高水平論文10余篇，設(shè)備及相關(guān)工藝的多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)已掌握自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，就希望以上理智慧推動(dòng)制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展?！?/span>
此外，上理工還有情感模擬機(jī)器人、新一代智能人形機(jī)器人小貝3.0、基于微生物介質(zhì)的低碳型智能水質(zhì)衛(wèi)士、裸眼3D設(shè)備等亮相工博會(huì)。
來(lái)源：周到上海
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